옵션 / 응용 프로그램 / 소프트웨어 : 응용프로그램
기능을 확장시킨다.
옵션을 결합한다.
사용자정의라는 효율화를 제안
θ축CNC테이블(수평)의 결합 예시
특징
•통합 측정 소프트웨어로 CNC테이블을 제어, 쉬운 학습 /재생이 가능합니다.
•Y 축 테이블과 회전 테이블은 자유롭게 재조합하여 작업에 따른 시스템 구축이 가능합니다.

| 이동량 | 100mm |
| 최대 이동 속도 | 50mm/s |
| 위치 결정 정밀도 | 20μm |
| 최대 적재 하중 | 30kg |
| 질량 | 약 19kg |

| 이동량 | 200mm |
| 최대 이동 속도 | 50mm/s |
| 위치 결정 정밀도 | 20μm |
| 최대 적재 하중 | 30kg |
| 질량 | 약 22kg |

| 이동량 | 360° |
| 최대 이동 속도 | 20°/sec |
| 위치 결정 정밀도 | 0.03° |
| 최대 적재 하중 | 15kg |
| 질량 | 약 2.5kg |

| 이동량 | 360° |
| 최대 이동 속도 | 20°/sec |
| 위치 결정 정밀도 | 0.03° |
| 최대 적재 하중 | 5kg |
| 질량 | 약 3.2kg |

| 레벨링 범위 | ±1° |
| 최대 적재 하중 | 5kg |
| 질량 | 3kg |

| 레벨링 범위 | X축:1°, Y축:1° |
| 최대 적재 하중 | 10kg |
| 질량 | 4kg |

| 측정 범위(Z) | 300μm |
| 분해능(Z) | 10nm |
| 최대 측정 각도 | 30°* |
| 점(spot)의 지름 | 2μm |
| 작업 간격(distance) | 4.5mm |
| 검출 원리 | 컬러 공초점(confocal) 방식 |
| 광원 | 백색광 |
| 결합 시스템 | S480B, S1400G, S1500DX3/SD3, S1800G, S2800G, S2000DX3/SD3, S1900DX3/SD3, S2900DX3/SD3, NEX, S1910DX3/SD3 |






