Probing Machines : 프로빙 머신：UF2000
정밀도 및 스루 풋(throughput)을 고차원으로 양립하는 200mm웨이퍼용 고급 프로버입니다.
특징
• 고강성, 고속 동작 기술을 연마하여 정밀도 및 스루 풋을 향상.
• 다채로운 옵션을 통하여 업계 표준으로는 정의되어 있지 않은 다양한 웨이퍼 테스트에 대응할 수 있습니다.
옵션
• 저온에서부터 초고온까지 측정할 수 있는 환경
• 테스트 헤드용 힌지형 조작기(manipulator)
• 특수 반송 장비를 이용한 휨 또는 초박형 웨이퍼의 반송 대응
• 청결한 측정 환경을 구현하는 FFU
• 저잡음 측정 환경
• 고내압 측정 환경
• 다채로운 네트워크 환경
• 고속 침적 검사 기능
