Probing Machines : 프로빙 머신：UF190R
개별 장치의 테스트를 대상으로 한 200mm 프로버입니다.
오픈 루프와 경량화 한 Z축을 통하여 더욱 높은 처리량을 구현
특징
• 4인치에서부터 8인치 웨이퍼를 반송 또는 측정합니다.
UF2000와 동일한 MMI를적용
• 다양한 옵션을 통해 업계 표준으로는 정의되지 않은 다양한 웨이퍼 테스트에 대응할 수 있습니다.
UF2000와 동일한 MMI를적용
• 다양한 옵션을 통해 업계 표준으로는 정의되지 않은 다양한 웨이퍼 테스트에 대응할 수 있습니다.
옵션
• 특수 반송 장비를 이용한 휨 또는 초박형 웨이퍼의 반송 대응
• 전용 장비를 이용한 MEMS 반송
• 미세 전류 측정
• 고내압 측정
• 고속 침적 검사 기능
