• Foot print
    고강성 기구로 절약형 풋 프린트를 구현.
• 다양한 작업대응
    ・300mm웨이퍼(wafer)
    ・복수 작업 구현 얼라인먼트
    ・변형, 신축이 가능한 작업 얼라인먼트
• 고분해능현미경
    현미경 분해능의 향상
• 조작성
    17인치 터치패널 탑재를 통한 조작성의 향상 

 

신규 GUI

 

 • 다양한 작업に표준대응
    ①12’플레임 탑재 가능
    ②300×250mm작업 대응
• 최고 회전수 6만회 회전이 가능한 회전축이 있는 표준 장비
    (옵션 사양으로 8만회 회전 사양 및 3만회 회전 2.2kw 고출력 대응 가능.)
• 처리량의 향상
    X축 속도800mm/sec, Y축 속도300mm/sec, Z축 속도80mm/sec
• 17인치 터치패널식 액정모니터＋신규 GUI
    GUI(그래픽 사용자 인터페이스를 탑재하여, 보기 쉬운 화면 구성과 대형 버튼으로 조작성을 향상 시키고,
    이와 함께 대화 형식으로 사용하기 편한 입력 방식을 적용.
• 복잡한 파라미터 설정 없이도 커프 체크할 수 있는 기능을 탑재.
    (AI 커프 체크 기능)
• HDD내에 레시피 데이터를 10,000건 이상 관리 가능.
• USB포트 표준 탑재
    (USB메모리를 외부기억장치로 사용 가능)
• 유지보수성 향상
    전면 액세스 도어를 대형화하여 유지보수성을 개선.
• 절전 기능 표준 탑재
    진공 진작 장치 제어에 최적화하여 공기 소비량을 당사의 기존 장비 대비 50% 이상 감소시켰습니다. 

 

 

 • 유지보수
    넓은 액세스 공간을 확보