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Product 제품소개

Probing Machines : 프로빙 머신:UF3000EX

세계 No.1 공급자가 제공하는 300mm주력 프로버(Flagship Prober)입니다.

특징

고속 웨이퍼 핸들링과 전용 구동 장치에 의한 고속/ 저소음 XY 스테지의 시너지 효과로 높은 처리량을 제공합니다. 또한, Z 축은 세계 최고 수준의 하중과 고정밀도를 구현했습니다.
컬러 카메라의 고배율 광학계를 표준 장비하고, 기존의 조작성을 계승 한 대형 디스플레이를 적용하여 조작성을 더욱 향상 시켰습니다.
각종 옵션과 결합하여 모든 테스트 환경에 유연하게 대응합니다. 

옵션

• 저온에서부터 고온까지 측정할 수 있는 환경
• 프로브 카드(probe card) 의 경사를 보정하는 틸트(Tilt) 보정 기능
• 청결한 측정 환경을 구현하는 FFU
• 최대 400kgf를 초과하는 프로빙 하중
• 1000kgf을 초과하는 테스트 헤드용 힌지(hinge)형 조작기(manipulator)
• 저잡음(low noise) 측정 환경
• 고내압 측정 환경
• 다채로운 네트워크 환경
• 고속 침적(針跡) 검사 기능 

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