고속 웨이퍼 핸들링과 전용 구동 장치에 의한 고속/ 저소음 XY 스테이지의 시너지 효과로 높은 처리량을 구현. 또한, Z 축은 세계 최고 수준의 하중과 높은 정밀도를 구현했습니다. 기존의 조작성을 계승한 대형 디스플레이 적용하여 더욱 조작성을 향상 시켰습니다. 각종 옵션과 결합하여 모든 테스트 환경에 유연하게 대응합니다.


우수한 위치 결정 정확도를 효율적으로 재현하려면, 각 부분의 강성이 매우 중요한 역할을 합니다. UF3000에서는 Z축에 신기술을 이용한 4축 구동 장비(QPU)를 적용하여 강성이 높고 안정적인 프로브 접촉를 구현하고 있습니다.

8인치, 12인치 카세트 양용 플랫폼화 및 검사 트레이(Inspection tray)를 앞면에 배치하여 사용자가 원하는 테스트 환경을 제공합니다. AMHS (Automated Material Handling System, 자동화 소재 조작시스템)에도 대응.

UF3000은 쉽게 사용할 수 있도록 하고, 터치 패널에 표시되는 맵이나 이미지에 접촉된 위치로 이동하는 기능을 적용하여 설치를 용이하게 하였으며, 또한 사용자 정의에 의한 화면 구성이 가능합니다.

•저온에서부터 고온까지 측정할 수 있는 환경.
•프로브 카드의 경사를 보정하는 틸트 보정 기능
•청결한 측정 환경을 구현하는 FFU
•최대 400kgf를 초과하는 프로빙 하중
•1000kgf을 초과하는 테스트 헤드용 힌지형 조작기(manipulator)
•저잡음 측정 환경
•고내압 측정 환경
•다채로운 네트워크 환경
•고속 침적 검사 기능