Probing Machines : 프로빙 머신：UF200R
UF200의 기본 컨셉을 답습하면서도 최신 아키텍처를 탑재한 범용 로직 디바이스용 프로버입니다.
특징
• 5인치에서부터 8인치 웨이퍼를 반송 또는 측정합니다.
UF2000와 동일한 MMI를 적용
• 다양한 옵션을 통해 업계 표준으로는 정의되지 않은 다양한 웨이퍼 테스트에 대응할 수 있습니다.
옵션
• 저온에서부터 고온까지 측정할 수 있는 환경
• 4인치 웨이퍼 측정 환경
• 테스트 헤드용 힌지형 조작기(manipulator)
• 특수 반송 장비를 이용한 휨 또는 초박형 웨이퍼의 반송 대응
• 전용 장비를 이용한 MEMS 반송
• 미세 전류 측정
• 고내압 측정
• 다채로운 네트워크 환경
• 고속 침적 검사 기능
