Probing Machines : 프로빙 머신：UF60A
화상 처리에 의한 자동 웨이퍼 얼라인먼트(Alignment) 로더(loader)를 표준 장비로 한 개별 장치 전용 세미 프로 버입니다.
특징
• 3인치에서 6인치 웨이퍼까지 순서 변경없이, 카세트에서 웨이퍼를 자동 반송하고 측정 가능한 세미 프로버입니다.
• 경량 컴팩트 설계로 에너지 풋 프린트(foot print)와 높은 처리량의 테스트 환경을 구현합니다. 15 인치터치 패널 LCD에 의한 직관적 경쾌한 조작성을 구현합니다.
옵션
• LED측정 사양(광관계 헤드 탑재, 적분구 탑재, 마스터 소자 탑재)
• 플레임 반송 사양(다이싱＆확장５인치 웨이퍼)
• 2~4인치 웨이퍼 반송 사양
• 4개 멀티 측정
• 핫 척(Hot chuck) 사양
• 로더 증설 사양 (최대 3 카세트)
