Probing Machines : 프로빙 머신 네트워크:VEGA PLANET
테스트 영역의 효율 향상에 기여하는 전용 단말군(terminal group)입니다.
특징
툴
품종 데이터 작성, 편집 툴(디바이스 공통)
파라미터(parameter) 작성 및 편집맵 작성
가동 상황 모니터&원격 툴(원격 모니터 툴)
맵 가동 상황프로버 화면 표시
맵 파일의 열람, 편집 툴(맵 편집기)
웨이퍼 ID 및 설정 데이터 일람맵 표시
로그 분석 툴(로그 분석 툴)
분석 표시검색 화면