In process gauge・Post process gauge : PULCOM 슈퍼Σ
초고정밀도 측정 헤드
PULCOM 슈퍼Σ
특징
인라인으로 0.1μm 의 높은 정밀도
반복 정밀도0.1μm(25 회)를 구현.
온도 변화에 강하다
온도 환경이 10℃변화하였을 때, 측정값의 변화는 0.5μm이하를 구현.
장시간 아이들링(idling)이 불필요
전원을 넣은 후10분 후에 측정값의 변화는 0.1μm이하를 구현.
외관도
외관 치수도
상세 사양
| 형식 | 슈퍼Σ | 슈퍼Σ-OD-AR | 슈퍼Σ-ID-AR | ||
| 주요 용도 | 원통 외경 | 원통 외경/외폭 | 원통 내경/내폭 | ||
| 형식 | 수직면내 | ℓ=42mm | E-TS-7151 | E-TS-7161 | E-TS-7181 |
| ℓ=82mm | E-TS-7152 | E-TS-7162 | E-TS-7182 | ||
| 수평면내 | ℓ=42mm | E-TS-7155 | E-TS-7165 | E-TS-7185 | |
| ℓ=82mm | E-TS-7156 | E-TS-7166 | E-TS-7186 | ||
| 측정 범위 | ()안 포스트 | φ8～φ65mm | φ8～φ65(φ1～φ65)mm | φ3～φ65mm | |
| 스트로크 | 핑거 길이 | ℓ=42일 때 | 1.5mm(한쪽) | 1.5mm(한쪽) | |
| 핑거 길이 | ℓ=82일 때 | 2.4mm(한쪽) | 2.4mm(한쪽) | ||
| 프론트 트라벨 | 핑거 길이 | ℓ=42일 때 | 0.12～0.15mm | 0.12～0.15mm | |
| 핑거 길이 | ℓ=82일 때 | 0.19～0.24mm | 0.19～0.24mm | ||
| 반복 정밀도 | 0.1μm | 0.2μm | 0.2μm | ||
| 측정력 | 0.75±0.15N | 0.75±0.15N | |||
| 리트랙트용 공기원 | - | 0.3～0.5MPa | 0.3～0.5MPa | ||
| 헤드 질량 | 약 1.3kg | ||||
| 방수규격 | IP67준거 | ||||
