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-표면 성상 해석의 철저추구에-

고안정배광로형 레이져 간섭 센서(특허)
東京精密의 요소기술의 하나인 광화이버에 따른 레이져 간섭 측장 시스템을 응용하여,
     분해능 0.3nm의 고안정배광로형 레이져 간섭 센서를 개발 탑재했습니다.
다이나믹 렌지와 분해능비는 43,333,000:1도 있고, 넓은 범위의 윤곽형상과 그 형상에
     감춰진 미묘한 표면형상을 원트 레이스로 평가 가능한 획기적인 것입니다.

광범위ㆍ자동측정
횡방향 200mm, 종방향 13mm의 넓은 측정범위.
45˚ 경사 가능한 전동경사장치를 옵션으로 이용.
Tiltingㆍ플레이백 기능에 의해 측정에서 인쇄까지의 자동화 대응이 가능합니다.

TIMS 버전 업
TIMS(Tokyoseimitsu Integrated Measuring System)은 진화를 계속합니다.
     신기능의 추가에 따라 한층 조작성, 간이성이 UP하여 초보자부터 상급자까지 만족하실
     수 있습니다.

세계 최고 수준의 분해능 0.3nm을 달성
     검출기는 고안정화 배광로형 He-Ne 레이져 간섭계를 채용.
     와이드 렌지로 고분해능을 실현.

구동부에 리니어모터 탑재
     리니어모터 구동부로 고정도ㆍ고속이동을 실현.
     또 저진동화에 의해 안정된 고배율 측정이 가능.

1회의 측정으로 조도와 윤곽의 해석
     고정도를 보존하면서 측정의 효율 UP이 가능.