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0.1 μ m 읽는 고정밀도 디지털 측정기
      Miniax를 조합한 전용 시스템입니다.

Wafer사이즈는 φ 3인치 부터 φ8인치까지
      대응 할 수 있습니다.

Wafer사이즈의 교환은, stopper pin의
      위치를 바꾸는 것으로 간단한 조작입니다.

Lift lever의 Switch를 내장하고 있어
      측정과 동시에 data를 출력 할 수 있습니다.